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痴补谤颈补苍瓦里安分子泵控制器维修检查冷却系统：确认瓦里安VARIAN真空泵的冷却系统是否正常工作。检查冷却水流量是否足够，冷却水阀门是否打开，冷却水管路是否堵塞或泄漏。如果有必要，清洁或更换冷却水过滤器。
更新时间：2025-06-06
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